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聚酰亞胺薄膜厚度要如何測試


發(fā)布時間:2022-6-28 15:12:04 瀏覽次數(shù):

摘要:鑒于聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性對應用效果、生產(chǎn)成本的重大意義,監(jiān)測、控制聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性已成為工業(yè)生產(chǎn)中重要的、不可或缺的環(huán)節(jié)。

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    鑒于聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性對應用效果、生產(chǎn)成本的重大意義,監(jiān)測、控制聚酰亞胺薄膜的厚度均勻性已成為工業(yè)生產(chǎn)中重要的、不可或缺的環(huán)節(jié)。
 
在所有監(jiān)測方法中,“在線實時監(jiān)測+離線抽樣檢測”模式是目前企業(yè)中朂為典型和有效的厚度控制方案。在線實時監(jiān)測方便快速、及時的獲取批量薄膜的厚度數(shù)據(jù),如若發(fā)現(xiàn)與規(guī)定的數(shù)值偏差波動較大,可及時停止生產(chǎn)線運轉,排查問題所在。
 
常見的在線測厚技術有射線技術、近紅外技術等。
 
射線測厚技術采用放射性同位素原理,根據(jù)使用的放射源不同,分為β射線、X射線和γ射線幾種形式,這種方法性能穩(wěn)定、精度高、受電磁干擾小,缺點在于射線源具有放射性,會對操作者人身造成傷害,另外放射源需要定期更換,費用昂貴。
 
近紅外測厚技術是利用不同物質(zhì)對近紅外領域(1.3~3.0μm)光線的吸收特性連續(xù)測量物質(zhì)厚度的,借助自身特點,可進行單層薄膜厚度、多層薄膜總厚度及各層厚度測量,且近紅外光為電磁波,無放射性,操作安全。
 
在線厚度技術雖然利于在宏觀方面把握薄膜厚度的變化情況,但在測試精度的穩(wěn)定性和測試范圍的適應性方面卻大大遜色于非在線測厚技術。非在線測試技術分為以機械測厚代表的接觸式測量法和非接觸式測量法,非接觸式測量法包括光學、渦輪、超聲波測厚等,渦輪測厚和超聲波測厚所使用的儀器均為小型便攜式設備,要求試樣表面平整光滑,否則易出現(xiàn)較大的數(shù)據(jù)偏差。
 
光學測厚技術理論上可達到極高的測試精度,但其原理特性對操作環(huán)境和維護方法的要求極高,因而使用范圍較窄。
 
機械測厚是朂傳統(tǒng)的測厚方法,測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定,對試樣沒有選擇性,其更大特點在于接觸探頭測量前在試樣表面施加一定的壓力,這樣可以有效避免其他非接觸測試技術測量表面平整度較差或具有一定彈性的材料時而出現(xiàn)的數(shù)據(jù)偏差較大的問題。因此機械測厚更適合于聚酰亞胺薄膜厚度均勻性的離線測試。
 
由于機械式測厚儀器的精度取決于測試元件的精度,因而在選購儀器時首先要選擇配置高精度的位移傳感器的測試儀,這是保證測厚數(shù)據(jù)精準的必要前提;其次,注意儀器內(nèi)部電機的質(zhì)量,因為其運行速度和噪音都會對測試產(chǎn)生一定影響;第三,觀察測量頭和砧鐵的平行度和光潔度,以減少測試誤差的產(chǎn)生。另外,儀器的自動化程度,如自動進樣、自動顯示厚度更大值、朂小值、平均值和統(tǒng)計偏差等特征也是選購儀器的重要參考因素。

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